1932：清华大学电机系电讯组建立。

1952：清华大学无线电工程系建立（清华大学、北京大学两校电机系电讯组合并），1958年更名为无线电电子学系，1989年更名为电子工程系。

1955：清华大学电机系设立自动控制专业。

1956：清华大学电机系设立电子计算机专业。

1958：清华大学自动控制系建立（含计算机、自动控制和运筹学三个专业）。1970年更名为电子工程系（自动控制系有关专业和数学力学系计算机数学专业合并），1979年又更名为计算机工程与科学系，1984年再更名为计算机科学与技术系。

1970：清华大学工业自动化系建立（电机系、动力系、自动控制系有关专业合并），即现自动化系。

1980：清华大学微电子学研究所建立。2004年清华大学微电子与纳电子学系建立。

1994：组建清华大学信息科学技术学院。

1994：清华大学信息网络工程研究中心建立，2012年建立网络科学与网络空间研究院。

1999：清华大学应用技术学院建立，设立计算机软件工程专业，2001年软件学院建立。

2003：清华大学信息技术研究院建立。

2003：清华信息科学与技术国家实验室筹建，依托信息学院建设。

2007：清华大学理论计算机科学研究中心建立。2011年清华大学交叉信息研究院建立，理论计算机科学研究中心并入建设。

2017：在清华信息科学与技术国家实验室基础上，北京信息科学与技术国家研究中心组建，依托信息学院建设。

2021：清华大学集成电路学院建立。